流体机械

2002, (04) 23-28

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基于MEMS的微流体机械研究进展
Investigation Progress in MEMS-based Micro Fluid Machinery

王沫然,李志信

摘要(Abstract):

介绍了近十年特别是近三年以来微流动系统研究的最新成果 ,具体介绍了新型微加速度计、微泵、微喷、微阀、微通道及微系统的结构、原理及应用情况 ,并对微流动系统研究中存在的问题和发展方向作了简述。

关键词(KeyWords): MEMS;微流动系统;微加速度计;微泵;微喷;微阀;微通道

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金重大资助项目 (59995550 -2 );;国家重点基础研究发展规划项目 (G1 9990 3 3 1 0 6)

作者(Author): 王沫然,李志信

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参考文献(References):

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