流体机械

1991, (08) 36-42+14

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国内外特种气体用阀概况

蒋仲先,王军,劳伟仪

摘要(Abstract):

<正> 一、前言特种气体阀门的特点是与气体本身特性密切相关的,这主要表现在: 1.纯度要求高。目前国内单元气体一般要求4N到5N。有的要求6N。国外有的高达7N。2.洁净度要求高。以集成电路用气为例集成度为64K时(国内已研制成功),尘埃最

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作者(Author): 蒋仲先,王军,劳伟仪

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