流体机械

2000, (04) 33-36+3

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微流动系统的发展概况
Review on Microflow Devices and Systems

尹执中,胡桅林,过增元

摘要(Abstract):

概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀、微型通道及微流动系统的结构特点

关键词(KeyWords): 微机电系统;微流动系统;微型传感器;微型泵;微型阀;微通道

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 尹执中,胡桅林,过增元

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