流体机械

2005, (04) 59-61+58

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高级别洁净室气流组织的优化
Optimization of Airflow in High Cleanliness Level Cleanroom

赵金亮,刘俊杰,朱能

摘要(Abstract):

利用CFD方法对拟采用风机过滤器单元(FFUs)洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室进行模拟,得出室内气流速度场,分析其性能,通过理论公式计算所能达到的洁净度。认为通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形式,以及选用较高级别的末端过滤器,可以在FFU满布率较低时达到较高的洁净度级别。

关键词(KeyWords): 计算流体动力学(CFD);洁净室;风机过滤器单元;满布率

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 赵金亮,刘俊杰,朱能

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